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避免二氧化硅層表面的缺陷方法
作者:滑石粉生產(chǎn)廠家 發(fā)布時間:2022-10-19 11:40:29點擊:51
1、石英管長期性應用,處于高溫地區(qū)的石英管造成乳白色塑料薄膜,這類乳白色塑料薄膜的構造較為疏松,大氣旋吹開或實際操作時振動就會導致粒子掉下去,落入硅片表面就會產(chǎn)生氧化層表面部分凸起。因此應提升對石英管的清理解決及適度拆換脆化的石英管是很須的。
2、一定堅決杜絕水珠噴到石英管中,特別是在在濕氧或水蒸氣氧化時,當溫度過高,發(fā)生爆發(fā)式燒開時,通常會將水滴立即噴到石英管中,如落入硅片上,就會發(fā)生五顏六色斑點。此外清理過的硅片上如殘余水漬,也會在氧化影片上發(fā)生斑點。
3、如在二氧化硅表面存有黑斑時,黑斑處的氧化層對殘渣的掩蔽功效很有可能無效,因而導致元器件特性下降,若有很大的突起黑斑時,還會繼續(xù)導致光刻技術實際操作品質降低,危害全部芯管生產(chǎn)制造的良品率,因此在生產(chǎn)制造中應盡量減少發(fā)生黑斑。
要想避免缺陷,那么我們就應該做到這幾點。避免二氧化硅層表面產(chǎn)生缺陷導致其使用被影響。它的使用還是比較廣泛的,就需要大家正確使用它們。
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